氦質譜檢漏儀應用于真空爐檢漏測漏
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氦質譜檢漏儀應用于真空爐檢漏測漏
- 廈門太星機電***氦質譜檢漏儀維修保養和真空爐檢漏或測漏，同時進行氣體管道的檢漏和測漏。真空爐按加熱元件分為真空電阻爐、真空感應爐、真空電弧爐、真空自耗電弧爐、電子束爐（又稱電子轟擊爐）和等離子爐等。
真空爐是在真空環境中進行加熱的設備。在金屬罩殼或石英玻璃罩密封的爐膛中用管道與高真空泵系統聯接。爐膛真空度可達133×(10-2～10-4)h。爐內加熱系統可直接用電阻爐絲(如鎢絲)通電加熱，也可用高頻感應加熱。溫度可達3000℃左右。主要用于陶瓷燒成、真空冶煉、電真空零件除氣、退火、金屬件的釬焊，以及陶瓷-金屬封接等。
真空爐都應該進行檢漏的吧, 而氦質譜檢漏儀是目前***準確的檢漏方式, 所以是都用氦氣檢漏。氦質譜檢漏儀由離子源、分析器、接收器、真空系統、電子線路及其他電氣部分組成。為了方便解釋氦質譜檢漏儀是如何工作的，我們以磁偏轉型的氦質譜檢漏儀為例進行說明。
真空爐主要由機械泵、羅茨泵、擴散泵、前級管路、爐體等幾部分組成。真空爐的生產中***常見問題是極限壓力合格，而升壓率不合格，或者是兩者都不合格，比較少見的是升壓率合格但極限壓力不合格，所以經常對真空爐進行檢漏或測漏。
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